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黎明院承担国家科技重大专项通过现场测试验收
来源: 黎明院 发布时间: 2020-07-08

(通讯员  张金彪)5月14日,黎明院承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”之子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”,顺利通过项目组的现场测试与评审,两项产品均满足立项要求。公司首席技术官牛学坤及科技部、氟化物公司相关负责人参加评审会。

国家重大专项(“02”专项)项目组专项办公室责任专家马振宇教授牵头,会同相关档案、财务和电子气体下游用户组成验收专家组。专家组详细听取了公司所承担课题的进展汇报,针对项目合同规定的各项技术指标、知识产权指标、人才建设、产业化指标和经费使用情况,逐项查验。并现场测试气体,确认产品的实际纯度。

经过现场测试和专家评审,专家组一致认为,黎明院产品满足国家重大专项/课题任务书研究内容和考核指标规定的技术要求。黎明院承担的国家重大专项(“02”专项)子课题高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试项目顺利通过了现场测试验收。

牛学坤表示,项目的验收完成,标志着公司开发的高纯度含氟电子气体四氟化碳(5.8N)和六氟化硫(5.5N)产品,满足了极大规模集成电路行业所需的高纯度气体,实现极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体的国产化。同时,公司进一步加快科技创新及产业化发展步伐,成功实现由工业级向高纯级、多品种等高性能、高附加值产品转型升级,成功实现氟化物产品结构调整,助推公司高质量发展。

据了解,黎明院氟化物公司借助国家科技重大专项的平台,突破产物合成、精制提纯、杂物分析、洁净充装等关键技术,共申报专利9项,发表研究论文6篇,编制国标1项、企标2项,并建成标准化洁净间,在研发基础上,高纯六氟化硫已实现1000吨/年生产供货能力,电子级四氟化碳产品建成中试装置,并规划建设1000吨/年工业化装置,相关产品提交客户使用,市场应用效果良好。

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